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发明名称
SAMPLE SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11264799(A)
申请公布日期
1999.09.28
申请号
JP19980067416
申请日期
1998.03.17
申请人
OLYMPUS OPTICAL CO LTD
发明人
KITAHARA AKIHIRO
分类号
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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