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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11260750(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980057771 申请日期 1998.03.10
申请人 DENSO CORP;TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 KOMURA ATSUSHI;KUZUHARA TAKESHI;IWAMORI NORIYUKI;KOIKE MANABU;SAKATA JIRO;FUNABASHI HIROBUMI;NAKAJIMA KENJI;ISHII MASAHIKO
分类号 H01L21/265;H01L21/225;H01L21/316;H01L21/762;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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