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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR SENSING WAFER-SHAPED OBJECTS AND SHELVES IN A CONTAINER
摘要
申请公布号 KR100218898(B1) 申请公布日期 1999.09.01
申请号 KR19970051526 申请日期 1997.10.08
申请人 JENOPTIK AKTIENGESELLSCHAF 发明人 SCHULTZ, KLAUS;KADEN, SEBASTIAN
分类号 G01B11/00;B65G49/07;G01V9/00;G06T1/00;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):G01D5/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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