| 发明名称 |
METHOD FOR DETECTING THE WIDTH OF A THIN FILM BY USING THE CRITICAL DIMENSION CHECK POINT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100192141(B1) |
申请公布日期 |
1999.06.15 |
| 申请号 |
KR19960014456 |
申请日期 |
1996.05.03 |
| 申请人 |
DAEWOO ELECTRONIC COMPONENTS CO.,LTD |
发明人 |
JANG, SONG-U |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
