| 发明名称 |
AUXILIARY APPARATUS FOR METAL-ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0174880(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.01 |
| 申请号 |
KR19950029218 |
申请日期 |
1995.09.06 |
| 申请人 |
KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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