Device for the analysis of wavelength dispersion of fluorescent rays

摘要

Es wird eine Vorrichtung (10) zur wellenlängen-dispersiven Analyse von Fluoreszenzstrahlung (11) vorgeschlagen, die von einer Probenoberfläche (15), insbesondere von einer zu untersuchenden Waferoberfläche, emittiert wird, nachdem auf die Probenoberfläche (15) primäre Strahlung (12) gerichtet worden war, wobei die Fluoreszenzstrahlung (11) auf einen relativ zur Richtung der einfallenden Fluoreszenzstrahlung drehbaren Multilayer-Röntgenspiegel (17) geleitet wird, dessen emittierte Strahlen (110) auf einen ortsunabhängigen Detektor (18) gegeben werden. Der Reflexionswinkelα, unter dem die Fluoreszenzstrahlung (11) von der Probenoberfläche (15) emittiert wird, ist << 45°, der Multilayer-Röntgenspiegel wird durch ein Paar voneinander beabstandeter Multilayerspiegel (17, 170) gebildet und die Dicke (176, 177) der Vielfachschichten (178) Multilayerspiegel (17, 170) wird vom Ort der Probe (14) in Richtung des Detektors (18) größer.