METHOD FOR REGULATING A COATING PROCESS

摘要

Bei einem Verfahren zur Regelung eines Beschichtungsvorgangs für das Aufbringen einer Schicht auf ein Substrat ergibt sich eine zuverlässige, einfache und wartungsarme Ermittlung und/oder Regelung der aufzubringenden Schicht, wenn die Intensität eines auf das beschichtete Substrat fallenden Lichtbündels nach seiner Transmission ermittelt und als Ist-Grösse für die Regelung der Schichtdicke herangezogen wird.