发明名称 Procédé de traitement des surfaces de corps semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1378016(A) 申请公布日期 1964.11.13
申请号 FR19620907994 申请日期 1962.08.28
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/24;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/52;H01L23/02;H01L23/051;H01L23/10 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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