| 发明名称 | 一种金属蒸汽真空弧离子源 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种金属蒸汽真空弧离子源。阴极弧等离子体一产生就被限制在由弧罩和阴极、阳极构成的狭小腔体内。这不仅提高了腔内金属等离子体的密度,也避免了弧外溢引起的外弧和金属沉积物对绝缘子的污染。穿过阳极孔的金属等离子体又被由永磁体系统形成的轴向发散磁场约束并稳定传输到引出系统,减少了扩散损失,抑制了磁流体不稳定性产生的束噪声,提高了引出效果。 | ||
| 申请公布号 | CN2287157Y | 申请公布日期 | 1998.08.05 |
| 申请号 | CN96201703.5 | 申请日期 | 1996.01.25 |
| 申请人 | 核工业西南物理研究院 | 发明人 | 高玉 |
| 分类号 | C23C14/35 | 主分类号 | C23C14/35 |
| 代理机构 | 核工业专利法律事务所 | 代理人 | 张英光;刘世权 |
| 主权项 | 1.一种金属蒸汽真空弧离子源，它包括阴极(3)、触发电极(4)、阳极(6)和引出系统(9)，其特征在于：阴极(3)上套装有用绝缘套隔开的绝缘定位盘(12)、触发电极(4)和陶瓷绝缘弧罩(5)，触发电极(4)固定在陶瓷绝缘弧罩(5)及绝缘定位盘(12)之间，阴极(3)的端面与绝缘弧罩(5)的内端面相平，阳极(6)固定在冷却支座(7)上，并与其上方的绝缘弧罩(5)和阴极(3)一同构成一个狭小的腔体。 | ||
| 地址 | 610041四川省成都市432信箱 | ||