| 摘要 |
본 고안은 인산웨트스테이션(HPOWET STATION)의 순수스파이킹시스템(DIW SPIKING SYSTEM)에 관한 것으로, 아래 도면에 도시된 바와 같이 인산웨트스테이션(32)의 히터(35)와 케미컬필터(36) 사이의 배관(34c)에 연결되는 스파이크포인트(39, 39')와 그 스파이크포인트(39, 39')에 연결되어 순수를 공급하는 순수공급관(40)과, 그 순수공급관(40)으로 공급되는 순수의 양을 제어할 수 있도록 자동밸브(41)와 유량계(42) 그리고 레귤레이터(43) 및 수동밸브(44)로 구성된 제어수단을 구비하여 구성한 인산웨트스테이션(32)의 순수스파킹시스템(31)으로서, 시스템이 전반적으로 단순화되어 설치비용을 절감할 수 있게 되고, 또 상기 히터에서 가열되기 전에 순수를 공급하므로 기포가 발생하지 않음과 아울러 맥동이 저감되며, 이와 같이 맥동이 저감되게 되어 균일한 인산용액을 공급함과 더불어 반도체 웨이퍼를 균일하게 에칭할 수 있는 효과가 있게 된다. |
