发明名称 HETEROEPITAXIAL STRUCTURE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR0142191(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19890015510 申请日期 1989.10.27
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC CO.,LTD 发明人 KAO, YUNG-CHUNG;PLUMTON, DONALD L
分类号 H01L29/73;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/324;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址