| 发明名称 |
INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10135200(A) |
申请公布日期 |
1998.05.22 |
| 申请号 |
JP19970258204 |
申请日期 |
1997.09.24 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
KENETH RAYMOND CARTER;JAMES LUPTON HEDRICK;ROBERT DENNIS MILLER |
| 分类号 |
C08G77/452;C08L83/10;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312 |
主分类号 |
C08G77/452 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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