发明名称 | 半导体集成电路是否合格判定方法及半导体集成电路 | ||
摘要 | 一种半导体集成电路是否合格的判定方法及半导体集成电路。具有合格品熔丝切断工序61,只在通过晶片测试判定为合格品的情况下才切断熔丝。而且包括输入输出信号的规定的输入输出端子、根据从输入端子输入的输入信号产生判定是否合格用的测试信号S21的测试方式电路41以及具有只在通过晶片测试工序60判定为合格品的情况下才切断的熔丝74,并根据测试信号S21的输入来输出与熔丝有没有被切断对应的逻辑值S22的是否合格的确认电路44。 | ||
申请公布号 | CN1180930A | 申请公布日期 | 1998.05.06 |
申请号 | CN97112950.9 | 申请日期 | 1997.06.09 |
申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 赤松宏 |
分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨凯;叶恺东 |
主权项 | 1.一种半导体集成电路是否合格的判定方法,该方法中在电路内具有熔丝,通过该熔丝有没有被切断存储该电路是否合格的状态,其特征在于,包括:对在晶片上形成的多个半导体集成电路进行是否合格的判定的晶片测试工序;只在通过所述晶片测试判定为合格品的情况下才切断所述熔丝的合格品熔丝切断工序;将所述晶片上的多个半导体集成电路切断成一个一个半导体集成电路,并且只对合格的所述半导体集成电路模制成型的模制成型工序;判定模制成型后的所述半导体集成电路是否合格的最后测试工序。 | ||
地址 | 日本东京都 |