| 摘要 |
본 고안은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 특히 고집적도 요구에 적당하도록 한 반도체 메모리 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 고안의 반도체 메모리 장치는 반도체 기판과, 반도체 기판에 일방향으로 배열되는 활성영역과, 활성영역에 수직한 방향으로 상기 반도체 기판에 배열되는 접지영역과, 접지영역 양측의 반도체 기판상에 상기 접지영역에 평행한 방향으로 형성되는 워드라인들과, 워드라인 양측의 활성영역과 접지영역에 형성되는 불순물 영역을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 이 고안에 의하면 반도체 기판내에 깊게 접지영역을 형성하여 칩의 집적도가 좋고, 용량이 커질수록 원가 절감에 큰 효과가 있다. |
