| 发明名称 |
METHOD FOR SELECTING AN OPTIMUM THICKNESS OF PHOTORESIST USING REFLECTION RATE CURVE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR0137724(B1) |
申请公布日期 |
1998.04.27 |
| 申请号 |
KR19940009837 |
申请日期 |
1994.05.04 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD |
发明人 |
JUNG, JONG-MOON |
| 分类号 |
G03F7/16;(IPC1-7):G03F7/16 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
