| 发明名称 |
ITO CYLINDRICAL TARGET AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1068072(A) |
申请公布日期 |
1998.03.10 |
| 申请号 |
JP19960224058 |
申请日期 |
1996.08.26 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP |
发明人 |
NAKAJIMA KOICHI;KIKUCHI TETSUO;KUNO AKIRA |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C4/06;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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