| 发明名称 |
ANTIREFLECTION FILM FOR RESIST USE AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN USING THIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1032162(A) |
申请公布日期 |
1998.02.03 |
| 申请号 |
JP19960187588 |
申请日期 |
1996.07.17 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
HIRANO HITOSHI;DOMOTO YOICHI;KURAMOTO KEIICHI;AKIZUKI MAKOTO;UEDA KEIICHI |
| 分类号 |
G03F7/11;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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