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发明名称 SCANNING LITHOGRAPHY SYSTEM WITH OPPOSING MOTION
摘要
申请公布号 EP0815494(A1) 申请公布日期 1998.01.07
申请号 EP19960907202 申请日期 1996.03.19
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 THOMAS, TIMOTHY, N.;ALLEN, PAUL, C.
分类号 G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B17/08
代理机构 代理人
主权项
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