发明名称 FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09289249(A) 申请公布日期 1997.11.04
申请号 JP19960099699 申请日期 1996.04.22
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO MICHIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址