| 发明名称 |
CHEMICALLY CLEANING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09279371(A) |
申请公布日期 |
1997.10.28 |
| 申请号 |
JP19960115214 |
申请日期 |
1996.04.15 |
| 申请人 |
EBARA KOGYO SENJO KK |
发明人 |
TANAHASHI MASASHI;MORIYA SETSUO;MIYAZAKI ATSUO |
| 分类号 |
C11D7/32;C23G1/14;(IPC1-7):C23G1/14 |
主分类号 |
C11D7/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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