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发明名称
ZENHEIRETSUGATAADHENKANKISHUSEKIKAIRO
摘要
申请公布号
JP2663551(B2)
申请公布日期
1997.10.15
申请号
JP19880241401
申请日期
1988.09.26
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
KUSAMA NOBORU
分类号
H03M1/36;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H03M1/36
主分类号
H03M1/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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