发明名称 SHORISOCHI
摘要
申请公布号 JP2659926(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19960163278 申请日期 1996.06.24
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 TAKAGAKI TETSUYA;MAEJIMA HIROSHI;NAGATOMO HIROTO
分类号 H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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