发明名称 GAS PHASE EPITAXIAL GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09246188(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960045687 申请日期 1996.03.04
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 MEGURO TAKESHI
分类号 C30B29/40;C30B31/16;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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