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发明名称 CHARGED PARTICLE MICROSCOPE IMAGE PHOTOGRAPHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0963528(A) 申请公布日期 1997.03.07
申请号 JP19950215701 申请日期 1995.08.24
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN;HITACHI LTD;HAMAMATSU PHOTONICS KK 发明人 OSAGABE NOBUYUKI;ENDO JUNJI;KODAMA TETSUJI;URAGAMI TSUNEYUKI;TSUCHIYA KOJI;OSUGA SHINJI
分类号 H01J37/22;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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