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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH098149(A) 申请公布日期 1997.01.10
申请号 JP19950149220 申请日期 1995.06.15
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI SEIICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/306;H01L21/824 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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