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发明名称 Rohreinrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes
摘要
申请公布号 DE69209478(T2) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE19926009478T 申请日期 1992.12.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD., KYUNGKI-DO, KR 发明人 YANG, CHANG-JIP, KWONSUN-KU, DYUNGKI-DO, KR;RYU, KYU-BOK, BUCHEON-CITY, KYUNGKI-DO, KR;AN, JUNG-SOO, KYUNGKI-DO, KR;AN, JUN-GEEN, KYUNGKI-DO, KR
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;C30B25/14;C30B31/16;H01L21/22;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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