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发明名称 PLASMA-JET PLATE TREATMENT PLANT
摘要
申请公布号 RU2067338(C1) 申请公布日期 1996.09.27
申请号 SU19925063203 申请日期 1992.07.22
申请人 AKTSIONERNOE OBSHCHESTVO NAUCHNO-PROIZVODSTVENNAYA FIRMA "AZ" 发明人 SINYAGIN OLEG V;TOKMULIN ISKANDER M;LAVRENTEV NIKOLAJ A;MATSAK SERGEJ YU;ANTROPOV ALEKSANDR M;ARKHANGELSKIJ VYACHESLAV A
分类号 H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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