发明名称 INTERFEROMETRIC MEASUREMENT OF SURFACES WITH DIFFRACTIVE OPTICS AT GRAZING INCIDENCE
摘要 <p>Un interféromètre (10) met en oeuvre des éléments optiques de diffraction (30 et 40) en vue de mesurer les erreurs dans des surfaces de test (14) qui différent des plans et des sphères. Un faisceau de lumière (28) est divisé en deux parties (32 et 34). Un des éléments optiques de diffraction (30) peut être utilisé pour remettre en forme la seconde partie (34) d'un faisceau de lumière (28) et lui donner une forme différente de celle de la première partie (32) le long d'une trajectoire d'incidence rasante par rapport à la surface de test (14), et l'autre élément optique de diffraction (40) peut être utilisé pour remettre en forme la seconde partie (34) et lui donner une forme correspondant à celle de la première partie (32) du faisceau de lumière (28). Les deux parties du faisceau (32 et 34) sont recombinées de sorte qu'un motif d'interférence (44) représentant les erreurs présentes dans la surface de test (14) soit formé.</p>
申请公布号 WO1996022505(A1) 申请公布日期 1996.07.25
申请号 US1996000707 申请日期 1996.01.18
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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