摘要 |
<p>Un interféromètre (10) met en oeuvre des éléments optiques de diffraction (30 et 40) en vue de mesurer les erreurs dans des surfaces de test (14) qui différent des plans et des sphères. Un faisceau de lumière (28) est divisé en deux parties (32 et 34). Un des éléments optiques de diffraction (30) peut être utilisé pour remettre en forme la seconde partie (34) d'un faisceau de lumière (28) et lui donner une forme différente de celle de la première partie (32) le long d'une trajectoire d'incidence rasante par rapport à la surface de test (14), et l'autre élément optique de diffraction (40) peut être utilisé pour remettre en forme la seconde partie (34) et lui donner une forme correspondant à celle de la première partie (32) du faisceau de lumière (28). Les deux parties du faisceau (32 et 34) sont recombinées de sorte qu'un motif d'interférence (44) représentant les erreurs présentes dans la surface de test (14) soit formé.</p> |