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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0831764(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940161154 申请日期 1994.07.13
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAGAYAMA TSUTOMU
分类号 H01J37/317;H01L21/26;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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