发明名称 Ionenstrahlgenerator mit elektronischer Umschaltung zwischen mehreren Kathoden
摘要
申请公布号 DE69115451(D1) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19916015451 申请日期 1991.10.02
申请人 ISM TECHNOLOGIES, INC., SAN DIEGO, CALIF., US 发明人 MAGNUSON, GUSTAV D., SAN DIEGO, CALIFORNIA 92107, US;TOOKER, JOSEPH F., SAN DIEGO, CALIFORNIA 92131, US;TREGLIO, JAMES R., SAN DIEGO, CALIFORNIA 92131, US
分类号 H01J27/02;H01J27/08;H01J27/22;H01J37/067;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/22 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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