| 发明名称 |
FORMING OF AMORPHOUS SILICON FILM AND THIN-FILM TRANSISTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07335560(A) |
申请公布日期 |
1995.12.22 |
| 申请号 |
JP19940125533 |
申请日期 |
1994.06.07 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
TAKECHI KAZUE;UCHIDA HIROYUKI |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/50;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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