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发明名称 FORMATION OF TUNGSTEN FILM
摘要
申请公布号 JPH07273045(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940061080 申请日期 1994.03.30
申请人 SONY CORP 发明人 ENOMOTO YASUYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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