发明名称 Puolijohteen, kuten piikiekon, prosessoinnissa käytettävä laitteisto ja menetelmä
摘要
申请公布号 FI95421(B) 申请公布日期 1995.10.13
申请号 FI19930005854 申请日期 1993.12.23
申请人 IHANTOLA, HEIKKI 发明人 IHANTOLA, HEIKKI
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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