发明名称 COMPOSITE CHARGE PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07230784(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940019230 申请日期 1994.02.16
申请人 JEOL LTD 发明人 SAKAGUCHI KIYOSHI
分类号 H01J37/147;H01J37/252;H01J37/28;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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