| 发明名称 |
METHOD OF SPUTTERING CATHODE MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CZ9301820(A3) |
申请公布日期 |
1995.08.16 |
| 申请号 |
CZ19930001820 |
申请日期 |
1993.09.03 |
| 申请人 |
FYZIKALNI USTAV AVCR |
发明人 |
KADLEC STANISLAV RNDR. CSC.;MUSIL JINDRICH ING. DRSC. |
| 分类号 |
C23C14/34;C22C9/01;C22C9/04;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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