| 发明名称 |
METHODE ZUR ABSCHEIDUNG EINES LEITERS AUF EINEN HALBLEITER DURCH DIREKTES SCHREIBEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT125393(T) |
申请公布日期 |
1995.08.15 |
| 申请号 |
AT19900300888T |
申请日期 |
1990.01.29 |
| 申请人 |
LASA INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
DOOLEY, DANIEL J.;ELSEA, ARTHUR J., JR. |
| 分类号 |
C23C16/04;C23C16/44;H01L21/268;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/268;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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