| 发明名称 |
INJECTION OF CHARGED PARTICLES AND SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING CRYSTAL DEFECT LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07193218(A) |
申请公布日期 |
1995.07.28 |
| 申请号 |
JP19930332944 |
申请日期 |
1993.12.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUURA NOBUYOSHI;ONOSE HIDEKATSU;TAKAYANAGI YUJI |
| 分类号 |
H01L29/74;H01L21/265;H01L21/322;H01L29/68;H01L29/744;(IPC1-7):H01L29/68 |
主分类号 |
H01L29/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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