发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07118845(A) |
申请公布日期 |
1995.05.09 |
申请号 |
JP19930266316 |
申请日期 |
1993.10.25 |
申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
YOSHIKAWA YUKIO;SHIDOUJI EIJI;SHIMIZU JUNICHI;HAYASHI ATSUSHI;TAKAGI SATORU |
分类号 |
C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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