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发明名称 FORMATION OF METAL THIN FILM ON OXIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0754129(A) 申请公布日期 1995.02.28
申请号 JP19930222072 申请日期 1993.08.13
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 SAKURAI ATSUSHI
分类号 C23C14/18;C23C14/02;H03H3/08;(IPC1-7):C23C14/18 主分类号 C23C14/18
代理机构 代理人
主权项
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