发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Lithographie mittels eines Strahls geladener Teilchen.
摘要
申请公布号 DE68920281(D1) 申请公布日期 1995.02.09
申请号 DE19896020281 申请日期 1989.10.26
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SAKAMOTO, KIICHI, TOSHIMA-KU TOKYO, 170, JP;YASUDA, HIROSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA, 222, JP;YAMADA, AKIO, KAWASAKI-SHI KANAGAWA, 213, JP
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30;G03F7/20 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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