发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM ON EDGE PART OF THIN SHEET MEMBER AND FILM FORMING DEVICE THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0734222(A) |
申请公布日期 |
1995.02.03 |
申请号 |
JP19930178885 |
申请日期 |
1993.07.20 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKA KAZUHIRO;YOSHIDA KAZUO;IKUTA YOSHIKAZU;YAGI TOSHINORI |
分类号 |
C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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