发明名称 Lithium niobate etchant.
摘要
申请公布号 EP0445930(B1) 申请公布日期 1994.11.02
申请号 EP19910301286 申请日期 1991.02.19
申请人 AT&T CORP. 发明人 BINDELL, JEFFREY BRUCE;CARGO, JAMES THOMAS;HOLMES, RONALD JAMES;HUGHES, MICHAEL CHARLES
分类号 C30B33/10;C04B41/53;C04B41/91;C09K13/00;G02B6/13;G02B6/136;G02F1/035;G02F1/05;H01L41/24;(IPC1-7):C04B41/91 主分类号 C30B33/10
代理机构 代理人
主权项
地址