PIEZORESISTIVE SILICON PRESSURE SENSOR DESIGN.

摘要

On utilise des bandelettes piézo-résistantes parallèles sur le périmètre et près du centre de longues plaquettes rectangulaires ou de diaphragmes de structures au silicium, de façon à en mesurer la contrainte. Cette conception sert principalement à la détection de pression absolue. On peut utiliser des plaquettes multiples.