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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06260433(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930069414 申请日期 1993.03.04
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANAZAWA GENICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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