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发明名称 Gerät zur Oberflächenprüfung.
摘要
申请公布号 DE68916351(D1) 申请公布日期 1994.07.28
申请号 DE19896016351 申请日期 1989.09.19
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 FUKAZAWA, CHIAKI, URAWA-SHI SAITAMA-KEN, JP;AIZAWA, KENJI, FUCHU-SHI TOKYO-TO, JP
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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