| 发明名称 |
DETECTING EQUIPMENT OF FOCAL POINT POSITION AND DETECTING METHOD OF FOCAL POINT POSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06204120(A) |
申请公布日期 |
1994.07.22 |
| 申请号 |
JP19930000483 |
申请日期 |
1993.01.06 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
MIYAI TSUNEO;TANIGUCHI TETSUO |
| 分类号 |
G03B27/34;G03F7/20;G03F7/207;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027;G03B27/32 |
主分类号 |
G03B27/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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