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发明名称 REMOVAL OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06168920(A) 申请公布日期 1994.06.14
申请号 JP19920319922 申请日期 1992.11.30
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 MABUCHI HIROTSUGU;KOMACHI KYOICHI
分类号 C23F1/00;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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