| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING APPARATUS FOR EPITAXIAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06128082(A) |
申请公布日期 |
1994.05.10 |
| 申请号 |
JP19920285818 |
申请日期 |
1992.10.23 |
| 申请人 |
CENTRAL GLASS CO LTD |
发明人 |
MORI ISAMU;FUJII TADASHI;KOBAYASHI YOSHIYUKI |
| 分类号 |
C30B23/00;C23C16/44;C30B25/00;C30B25/08;C30B31/16;(IPC1-7):C30B25/00 |
主分类号 |
C30B23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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