| 发明名称 |
METHOD OF PROCESSING PATTERN OF SILICA FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0669186(A) |
申请公布日期 |
1994.03.11 |
| 申请号 |
JP19930124172 |
申请日期 |
1993.05.26 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
YAMAHO YUKA;TOMIKAWA MASAO;ASANO MASAYA |
| 分类号 |
C09D183/04;C23C18/12;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C09D183/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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