| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR PERFORMING IMMERSION SCANNING FOR FORMING POROUS SILICON FILM AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0613366(B2) |
申请公布日期 |
1994.02.23 |
| 申请号 |
JP19900087065 |
申请日期 |
1990.03.30 |
| 申请人 |
SHIN MEIWA IND CO LTD |
发明人 |
FUJITA EIJI;INUKAI SHINPEI;HAYASHI YOSHIHIRO |
| 分类号 |
B65F5/00;B65F3/20;B65G53/24;B65G53/66;(IPC1-7):B65F5/00 |
主分类号 |
B65F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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